10. Приготовление образцов для ПЭМ
Страница 9 из 22
Сначала волоконный материал или порошок заливают эпоксидным клеем и заполняют смесью 3мм бронзовую трубку. Затем трубку режут на тонкие диски и последовательно утоняют механически и с помощью ионного травления. Ионное травление сопровождается радиационными повреждениями. Особенно страдают приповерхностные слои. В качестве примера на рис. 10.10 приведены светлопольные изображения CdTe приготовленные ионным травлением пучком Ar и реактивным распылением ионами йода.
Рисунок 10.8 Изменение глубины проникновения и скорости утонения от угла падения ионов на образец.
