9.1.1 Формирование параллельного пучка
Освещение параллельным пучком необходимо, чтобы получить более острые дифракционные пики при использовании дифракции из выбранной области и, в принципе, для наилучшего контраста изображений. В самом деле, мы обычно считаем, что падающий луч параллелен при интерпретации наших классических изображений. Обычно вам необходимо недофокусировать C2 до того момента пока освещенная область на образце не заполнит полностью экран просмотра изображения. Чем выше увеличение, тем сильнее необходимо фокусировать C2 (делая пучок менее параллельным), чтобы освещаемая область сохраняла заполнение экрана и, следовательно, освещая все меньшую часть образца.
Рисунок 9.2. Влияние диафрагмы C2 на параллельность луча: диафрагма создает более параллельный пучок за счет уменьшения числа электронов (т. е. уменьшает ток зонда), падающих на образец
