9.4.4 Увеличение в СПЭМ
Все СПЕМ изображения, которые мы только что описали появляются на экране компьютера с каким-либо увеличением, которое контролируется размером сканируемого участка на образце, а не линзами ПЭМ. Это фундаментальное различие между растровым и статическим изображениями. Так как изображения полученные сканированием не увеличивается линзами, то на них не влияют аберрации линз системы формирования изображения.
Рисунок 9.19 Получение СПЭМ изображения: КСП детектор находится в сопряженной плоскости с задней фокальной плоскостью для захватывающий прямой пучок (А) и кольцевой темнопольный детектор захватывающий дифрагированные электроны, распределение которых показано как кольцевая дифракция из выбранной области (B).Сигналы от любого детектора усиливаются и модулируются СПЭМ дисплеем компьютера. Образец (островки Au на C пленке) показаны в КТП (C) и СП (D) изображениях.
