9.4.4 Увеличение в СПЭМ
Страница 2 из 2
Однако, на них влияют аберраций, от которых зависит размер самого зонда, т.е. аберации системы освещения. Поэтому СПЭМ изображения могут быть улучшены путем введения корректоров аберраций в осветительную систему.
Если область сканирования на образце составляет 10 мм х 10 мм, а результирующее изображение отображается на экране компьютера, с площадью 100 мм х 100 мм, то увеличение изображения составит x10 раз. Если размер сканирования уменьшается до 1 мм, увеличение на том же экране x100 раз, и так далее, вплоть до увеличений свыше x107, которые являются обыкновенными в специализированных СПЭМ. Как и в ПЭМ, нам необходимо калибровать увеличения в СПЭМ и длину камеры, которую мы используем для получения изображений.
