9.1.2 Режим работы ПЭМ (СПЭМ) в сходящемся пучке
Некоторые ПЭМ, используют C1 линзу с двойным зазором. В этих микроскопах одна обмотка линзы C1, но четыре эффективных полюсных наконечника и, следовательно, два кроссовера имеют место находиться в канале линзы. В некоторых других системах функционируют три независимых линзы. Без этого дополнительного кроссовера невозможно получить зонд менее 10 нм. Дополнительные конденсорные линзы дадут зонд размером около 10 раз меньше. Даже если у вас есть возможность использовать только два элемента управления (C1 и C2), то есть по крайней мере три кроссовера. Таким образом, конфигурация конденсорных линз может быть гораздо сложнее, чем показаные базовые принципы на рисунке 9.3.B. Чем больше линз в микроскопе, тем более гибка оптика и, следовательно, тем больше операций может выполнять один ПЭМ.
Рисунок 9.4. Влияние силы C1 линзы на размер зонда: сильная C1 линза (A) приводит к большему уменьшению, любой последующей линзой (C2 и / или C3), что дает меньший электронный пучок на образце. Слабая линза (B) дает более широкий зонд.
