9.1.2 Режим работы ПЭМ (СПЭМ) в сходящемся пучке
Страница 4 из 4
Так, в ПЭМ где требуется работа с малым зондом, роль C1 принципиально отличается от ее роли в традиционном, ПЭМ с параллельным пучком. Линза C1 используется для управления размером зонда (и, следовательно, током) на образце. Как показано на рисунке 9.4, сильная C1линза создает малый зонд, в то время как слабая C1 создает большой зонд. Это различие возникает из-за того, что при увеличении силы C1 уменьшается ее di, таким образом, увеличивая расстояние до формирующей зонд линзы C2 (или С3), и, следовательно, линза сильнее уменьшает изображение кроссовера.
