9.1.4 Перемещение и наклон пучка
Обе эти операции, перемещение и наклон пучка, также имеют важное значение для настройки микроскопа и осуществляются путем изменения тока через потенциометры (которые мы называем катушками сканирования) для создания локального магнитного поля, которое отклоняет (а не фокусирует) пучок. В колонне микроскопа присутствует несколько наборов катушек сканирования, некоторые из которых наклоняют, а другие перемещают пучок. Схема хода лучей при перемещении и наклоне пучка показана на рис 9.6.A и B.
Когда мы создаем сканирующий пучок для получения СПЭМ изображения, пучок всегда должен двигаться параллельно оптической оси, чтобы имитирования условий освещения параллельными пучком в стандартном ПЭМ. Такое сканирование осуществляется путем наклона луча дважды, двумя наборами сканирующих катушек (одна над другой), чтобы гарантировать, что луч пересекает оптическую ось в передней фокальной плоскости верхнего полюсного наконечника к/о линзы.
Рисунок 9.6 Использование катушек сканирования (A) для перемещения пучка и (B) наклона. Перемещение сдвигает пучок в другую область образца, но он остается параллелен оптической оси. Наклон луча, наоборот, освещает ту же область образца, но под другим углом падения пучка
