9.1.4 Перемещение и наклон пучка
Страница 3 из 3
Тогда, где бы пучок не входил в поле верхней части объективной линзы, он наклоняется, таким образом, что следует по пути параллельному оптической оси линзы (иногда необходимо наклонять для того, чтобы перемещать пучок). Вам необходимо компьютерное управление для того, чтобы сделать такую довольно сложную настройку (рисунок 9.17). Как и многие другие операции в современных ПЭМ, эта настройка выполняется автоматически, при выборе конкретного (в данном случае СПЭМ) режима работы.