9.1.6 Абберации конденсорных линз
Последовательность операций № 2 А - Обнаружение астигматизма
Вы можете обнаружить астигматизм в системе освещения, глядя на изображение источника электронов на дисплее/экране, следующим образом:
Работа должна проводится в режиме изображения без введенного образца либо через отверстие в образце.
Сфокусируйте C2 линзу до минимально возможного диаметра пучка.
Отрегулируйте C2 диафрагму и направление пучка, таким образом, чтобы он проходил через центр экрана, и изображение пучка было круглым.
Последовательно расфокусируйте пучок по обе стороны от фокуса C2 линзы, таким образом, чтобы пучок расширялся и сжимался около своего минимального размера.
Если присутствует астигматизм, то изображение не будет круглым, а будет эллиптически искажаться и поворачиваться на 90° по обе стороны от фокуса, как показано на рисунке 9.9.