НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

9.1.6 Абберации конденсорных линз

Последовательность операций № 2 А - Обнаружение астигматизма

Вы можете обнаружить астигматизм в системе освещения, глядя на изображение источника электронов на дисплее/экране, следующим образом:

  • Работа должна проводится в режиме изображения без введенного образца либо через отверстие в образце.

  • Сфокусируйте C2 линзу до минимально возможного диаметра пучка.

  • Отрегулируйте C2 диафрагму и направление пучка, таким образом, чтобы он проходил через центр экрана, и изображение пучка было круглым.

  • Последовательно расфокусируйте пучок по обе стороны от фокуса C2 линзы, таким образом, чтобы пучок расширялся и сжимался около своего минимального размера.

  • Если присутствует астигматизм, то изображение не будет круглым, а будет эллиптически искажаться и поворачиваться на 90° по обе стороны от фокуса, как показано на рисунке 9.9.

  •