9.1.6 Абберации конденсорных линз
Последовательность операций № 2 В -коррекция астигматизма
сначала перефокусируйте пучок, так, чтобы вы смогли увидеть влияние астигматизма (т. е. пучок стал эллиптически искаженным) в одном направлении.
отрегулируйте стигматоры таким образом, чтобы изображение стало круглым.
После этого недофокусируйте пучок и повторите коррекцию.
Следует повторять процедуру пере/недофокусировки многократно, пока изображение пучка не станет оставаться круглым, расширяясь и сжимаясь на экране (см. рис 9.8).
Если вы не можете сделать изображение круглым, вам придется увеличить диапазон силы стигматоров. Если при максимальной силе стигматоров, не удается сделать пучок круглым, то значит, что на диафрагме С2 слишком много загрязнений и вам необходимо либо заменить либо очистить ее.
Рисунок 9.7 Если диафрагма С2 смещена, качание тока в С2 линзе (поочередное перефокусировка и недофокусировка C2 линзы) вызывает уход изображения пучка с оси и его искажение