НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

9.3.3 Центрированное темнопольное изображение

Как видно из рисунка 9.14.B, при получении темнопольного изображения, электроны, которые выбираются апертурой проходят далеко от оптической оси линзы, так как мы смещаем апертуру, чтобы выбрать рассеянные электроны. Чем дальше от оси проходят электроны, тем больше они испытывают влияние аберраций и астигматизма. Поэтому темнопольные изображения полученные смещением апертуры будут довольно размыты и трудны для фокусировки. Вы увидите, что изображение будет двигаться на экране, при регулировке силы объективной линзы.

Хотя могут быть ситуации, когда нужно использовать именно такие изображения, почти всегда вам необходимо переместить дифрагированный пучок электронов на оптическую ось, а затем сформировать темнопольное изображение. Эта операция называется получение центрированного темнопольного изображения. Эта операция получения центрированного темнопольного изображения является стандартной, и ниже будет приведен порядок действий для ее реализации.

Последовательность операций № 6

  • Необходимо начать с получения стандартной дифракционной картины от выделенной области, однако вместо того, чтобы перемещать апертурную диафрагму объективной линзы для выбора дифрагированного пучка электронов, необходимо поместить ее на оптическую ось, как это делается при получении стандартных светлопольных изображений.

  • Уберите апертурную диафрагму объективной линзы, таким образом вы сможете увидеть картину дифракции из выбранной области.

  • С помощью управления наклоном пучка после конденсорной линзы, необходимо наклонить пучок таким образом, чтобы дифрагированный пучок электронов, который вы хотите использовать для формирования изображения, двигался по направлению к центру, в положение на оптической оси.

  • Глядя в бинокуляры, включайте и выключайте управление наклоном пучка, для того, чтобы удостовериться, что дифрагированный пучок точно накладывается на положение, прямого пучка при выключенном наклоне пучке, и прямой пучок возвращается на ось при включении наклона.

  • Введите апертурную диафрагму объективной линзы и убедитесь, что апертура по-прежнему хорошо отцентрирована вокруг рассеянного пучка находящегося на оси. Как и при получении светлопольных изображений, это прецизионная центровка апертуры является абсолютно критической процедурой для формирования наилучшего центрированного темнопольного изображения.

  • Перейдите в режим изображения и сфокусируйте центрированное темнопольное изображение.

  • Суть данных операций это наклонений падающего на образец пучка электронов на угол, равный и противоположный углу дифракции. Таким образом, рассеянные электроны теперь будет двигаться вниз по оптической оси, как показано на рисунке 9.14.C.